極性改質劑
VSE CR-150
極性改質劑
抗沾黏 / 抗氧化 / 防腐蝕極佳的隱形盾牌
使用簡單，僅須塗布在表層就能爲您的設備與機器外層覆蓋上一層保護膜。
| ♦原理 | |
| 使用極性改質劑(多重複合式矽化合物)在金屬表面上形成一層極低磨擦係數的保護膜用以降低减少制程副産物物附著 | |
| ♦目的 | |
| 降低制程物附著 延長PM Cycle 减少設備維保費用 對抗及隔離氫氧酸侵蝕增延長pump life time 對于含有氯工藝氣體具有抗腐蝕及抗强氧具體效果 | |
| ♦運用的工藝 | |
| LPCVD_Nitride, PECVD_Nitride, PECVD_Oxide, Metal etch, Oxide etch, Nitride etch, MO CVD, Plasma equipment …etc. | |
| ♦注意 | |
| 限制使用于任何需需導電良好接觸面（極性改質劑具極佳的絕緣能力特性） 本産品主要是離型用,非潤滑用。 環境保存溫度0℃〜50℃。 | |
抗沾黏 / 抗氧化 / 防腐蝕極佳的隱形盾牌
•大半導體
•FPD，OLED
•泛真空相關産業
•ETCH
•CVD
•PVD, Sputter
•降低制程物附著
•延長PM Cycle (平均2~3倍）
•對抗及隔離氫氧酸侵蝕增延長pump life time
•對于含有氯工藝氣體具有抗腐蝕及抗强氧具體效果
♦真空 PUMP 運轉障礙的原因
•爲了高效率的半導體/LCD 製造，製造商爲了提高生産産品的工藝處理速度，工藝氣體與Chemical的投入量日益增加。
•自然而然，Process Tool産出的未反應的氣體及Chemical排出量會增加，這意思是工程殘渣的排出量也跟著增加，有可能會在真空PUMP中沉積的殘渣會越來越多。通過真空PUMP的氣出口後，經過排氣排管的低/高溫帶的時候，殘渣成爲Powder沉積在管路內壁。
•因爲排氣管路內部堵塞，導致了真空PUMP驅動MOTOR的停止。這樣就會發生Process Tool的運轉停止，而且還會發生進行工藝生産中産生一些不良産品，這就是設備運轉效率下降與半導體/LCD製造成本提高的原因。
•爲了减緩排氣管路的阻塞及防止所有運轉效率的下跌，PUMP MAKER也付出努力開發著新産品，也在開發一些可防止沉積的技術。可知，爲了延長真空系統MTBF的使用周期進行著許多嘗試。
♦傳統降低Powder附著的方式
♦改質劑使用原理
♦經濟效益比較
改質劑 | Trap | Hot N2 Purge | Heating Jacket | Gate Valves+3 Ways Valve | |
費用/unit (RMB/未稅） | <5K | 15-20K | 13-15K | 40-60K | 15-10K |
後期維護 | N | 需定期更換清洗 | 需保養 | 如電子部件故障需保養更換 | 需定期保養清洗 |
Avg Cost per PM/Year (RMB) *注 | <0.5K | 4-6K | 3-5K | 4-5K | 4-6K |
備注 | 可同時多管道使用 | 一對一 | •一對一 •控制器一對二 | 一對一 | •一對一 •控制器一對二 |
注:
1.以平均一年24次PM計算
2.Avg Cost=（産品采購金額+定期維護保養費用）/ 年PM次數
♦測試實例
| 聯華電子 12A 爐管出口端連接管Coating 測試時間: 3 個月 | |||
| Before | After | ||
 |  |  |  |
未上改質劑(一個月) | 塗上改質劑後1個月 | 塗上改質劑後2個月 | 塗上改質劑後3個月 |
| 漢磊科技 / 蝕刻部 12A 爐PUMP排氣出口端管內Coating 測試時間: 2 個月 | |
| Before | After |
 |  |
無Coating處理圖示 | 有Coating處理圖示 减少制程物堆積 |
| 力積電 / 薄膜工程部(CVD) 排氣端尾管Coating 測試時間: 1 個月 | |
| Before | After |
 |  |
無Coating處理圖示 | 有Coating處理圖示 减少POWDER附著 |
| CSMC/ 刻蝕部(Metal ETCH) 排氣端尾管Coating 測試時間: 2 個月 | |
| Before | After |
 |  |
無Coating處理圖示 | 有Coating處理圖示 减少POWDER附著 |
| 欣興電子/電漿設備(Plasma) 設備烤箱內部Coating 測試時間: 3 個月 | |
| Before | After |
 |  |
無Coating處理圖示 | 有Coating處理圖示 烤箱內壁减少制程物，幷無産生化學變化 |
| 漢耀華電子/電漿設備（Plasma） 真空幫浦轉子表面Coating 測試時間: 3 個月 | |
| Before | After |
 |  |
無Coating處理圖示 | 有Coating處理圖示 减少POWDER，幷無産生化學變化 |
| 薄膜設備部(CVD) 真空幫浦轉子表面Coating 測試時間: 2 個月 | |
| Before | After |
 |  |
無Coating處理圖示(一周) | 有Coating處理圖示(兩個月) 减少制程物附著 |
